安检测仪
环境监测仪
颗粒计数器
地下管线探测仪
石油化工产品
实验室仪器设备
煤质分析仪器
气体发生器
身高体重测量仪
食品安检测仪
气体检测仪/分析仪
环保分析仪器
水质分析仪
气体分析仪
矿用安设备

地 址:北京市西城区茶马北街1号
电 话:010-89942170/89942167
手 机:15652257065
传 真:010-89942170
联系人:张先生
邮 编:100055
网 址:www.zhonghuibj.com
E-mail:805247549@qq.com

 
 
ZH5495型射频ICP薄膜沉积装置
点击放大
产品型号:
产品名称:
ZH5495型射频ICP薄膜沉积装置
产品报价:
产品特点:
本装置主要由薄膜沉积室、真空抽气系统、气源进气调节系统、衬底加热温度控制系统等部分组成。
通过本实验装置可以掌握CVD(化学气相沉积);理解CVD的成膜过程及要求,化学输运反应的原理,等离子体CVD的原理、特点及等离子体的激励方式;了解该在电学、光学、微电子学等领域的广阔应用前景。
可开设的实验
  ZH5495型射频ICP薄膜沉积装置 的详细资料:

ZH5495型射频ICP薄膜沉积装置  

  本装置主要由薄膜沉积室、真空抽气系统、气源进气调节系统、衬底加热温度控制系统等部分组成。
  通过本实验装置可以掌握CVD(化学气相沉积);理解CVD的成膜过程及要求,化学输运反应的原理,等离子体CVD的原理、特点及等离子体的激励方式;了解该在电学、光学、微电子学等领域的广阔应用前景。
可开设的实验
1、P型微晶硅材料及在薄膜太阳能电池上的应用;
2、硅系纳米复合薄膜材料PCVD法制备;
3、电容耦合/电感耦合等离子体化学气相沉积制备种功能薄膜。
主要参数
1、薄膜沉积室:由不锈钢底与玻璃钟罩组成;有效尺寸:Φ220×H230mm;
2、薄膜沉积室本底真空: ≤1Pa;
3、射频耦合方式:电容耦合/电感耦合;射频源功率:带500W  13.56MHz;
4、气路系统:由三路转子流量计控制(可选配流量计);
5、衬底加热温度:室温至300℃可控;
6、平行板电:Φ70mm;
7、工作反应气体:由电板上微孔均匀导入;
8、真空抽气系统:2XZ-4型旋片机械泵,4L/S,单相220V交流电源供电;
9、管道、阀门:材质使用不锈钢和金属波纹管;
10、对过流过压、断路等异常情况进行报警,并执行相应保护措施;
11、供电电源:AC220V,50Hz,整机功率2KW。

 

北京中慧天诚有限公司
:www.zhonghuitc.com
      www.centrwin.com
      www.59488880.com
      http://zhtc2010.cn.alibaba.com

产品相关关键字: ZH5495型射频ICP薄膜沉积装置 北京中慧天诚有限公司
 如果你对ZH5495型射频ICP薄膜沉积装置 感兴趣,想了解更详细的产品信息,填写下表直接与厂家联系:

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
 相关同类产品:
ZH1293里氏硬度计 型号:ZH1293  ZH1294便携式硬度计 型号:ZH1294  ZH1295便携式水质检测仪(五参数) 型号:ZH1295  ZH1296密封品气密检漏系统 型号:ZH1296 
ZH1298密封品气密检漏系统 型号:ZH1298  ZH1299密封品气密检漏系统 型号:ZH1299  ZH1300调节校正器 型号:ZH1300  ZH1301流量式气密检漏仪 型号:ZH1301 
BAX-1B精密气体流量调校装置BAX-1B  ZH1304湿式气体流量计 日本 型号:ZH1304 
 
北京中慧天诚科技有限公司 Copyright(C) 2008 电话:010-89942170/89942167 传 真:010-89942170
技术支持:化工仪器网 GoogleSiteMap 网站管理入口 邮箱登陆 ICP备:京ICP备10021477号-3

化工仪器网

推荐收藏该企业网站