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箱式电子束蒸发镀膜机
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产品型号:
YQDH-500ZZS
产品名称:
箱式电子束蒸发镀膜机
产品报价:
产品特点:
适用于制备导电薄膜,半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜,薄膜研究及新材料科学研究工作。其主要特点为功能强、镀膜稳定、重复性好、操作简便。
  YQDH-500ZZS箱式电子束蒸发镀膜机 的详细资料:

箱式电子束蒸发镀膜机
型号:YQDH-500ZZS
货号:ZH5496

  适用于制备导电薄膜,半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜,薄膜研究及新材料科学研究工作。其主要特点为功能强、镀膜稳定、重复性好、操作简便。
主要参数
1、镀膜室体积:500×500×600mm3,规格可定做;
2、限真空度:6.7×10-5 Pa,恢复真空:从大气抽至6.7×10-4 Pa ≤(40分钟);
3、真空抽气系统:机械泵与复合分子泵组成;真空测量系统:复合数显真空计;
4、蒸发源:电子束蒸发源:270°E型电子枪及高压电源,电子枪功率0~6KW可调;
           电阻蒸发源:铜水冷电4根,功率:3kW/10V两组;
5、结构形式:立式前开门后置抽气系统;
6、工件烘烤温度:室温~800℃可控可调(PID控温);
7、旋转夹具:公转或行星公自转夹具。速度从 0r~30r/min 可调;
8、选配件:光学膜厚测量系统、石英晶振测厚仪、高压离子轰击、霍尔离子源、冷却水机组等;
9、供电电源:三相AC380V,50Hz;整机功率22KW。

 

产品相关关键字: 箱式电子束蒸发镀膜机 YQDH-500ZZS
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