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箱式多弧磁控镀膜机
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产品型号:
YQDH-900DZX
产品名称:
箱式多弧磁控镀膜机
产品报价:
产品特点:
该镀膜机可镀制不锈钢,铬,钨等多种金属,也可镀制合金膜或化合物,也可在工件表面上镀制单层或多层介质膜或金属 ZrN TiCN TiAIN等硬质或装饰涂层,具有镀膜速度快,膜层好的优点。
1 真空室:镀膜室尺寸900×900×1000mm3 ;箱式,前开门结构;
2 抽气系统:机械泵:前泵70L/S;维持泵:2×-8旋片泵;罗茨泵:扩散泵:腔扩泵;分子泵﹝选配﹞
  YQDH-900DZX箱式多弧磁控镀膜机 的详细资料:

箱式多弧磁控镀膜机
型号:YQDH-900DZX
货号:ZH5497

   该镀膜机可镀制不锈钢,铬,钨等多种金属,也可镀制合金膜或化合物,也可在工件表面上镀制单层或多层介质膜或金属 ZrN  TiCN  TiAIN等硬质或装饰涂层,具有镀膜速度快,膜层好的优点。
1     真空室:镀膜室尺寸900×900×1000mm3  ;箱式,前开门结构;
2     抽气系统:机械泵:前泵70L/S;维持泵:2×-8旋片泵;罗茨泵:扩散泵:腔扩泵;分子泵﹝选配﹞
3     限真空:5×10-4Pa; 恢复真空:5×10-3Pa﹝小于20min﹞;
4     镀膜系统:平面磁控靶或圆柱磁控靶/直流功率源或中频功率源;小弧源/柱弧源;
5     辅助镀膜系统:脉冲偏压电源。条形离子源﹝选配﹞。
6     膜厚测量系统:石英晶体膜厚监控系统﹝选配﹞。
7     进气系统:自动压强控制+多路流量控制系统;
8     操作方式:手动按键式;自动控型配置:研华工控机,80G硬盘,512内存+日本三菱PLC;15英寸液晶显示触摸屏界面;
9     旋转夹具:公转/自转夹具,速度从0~15r/min  可调;
10    工作烘烤:室温~300 ℃;
11    供电电源:三相380V,50HZ。

 


 

产品相关关键字: 箱式多弧磁控镀膜机 YQDH-900DZX
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