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电子薄膜应力分布测试仪
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产品型号:
HFGS-6341
产品名称:
电子薄膜应力分布测试仪
产品报价:
产品特点:
电子薄膜应力分布测试仪主要应用在微电子、光电子生产线上和科研、教学等领域Si、Ge、GaAs等半导体基片及电子薄膜应力分布、光学零件面形和平整度面形、 基片曲率半径测量测试。该仪器总测量点数多,能给出全场面型分布结果,适合于微电子生产线上产品质量的快速检验和微电子生产工艺研究。
  HFGS-6341电子薄膜应力分布测试仪的详细资料:

型号:HFGS-6341 货号:ZH9912 
产品简介
电子薄膜应力分布测试仪主要应用在微电子、光电子生产线上和科研、教学等领域Si、Ge、GaAs等半导体基片及电子薄膜应力分布、光学零件面形和平整度面形、 基片曲率半径测量测试。该仪器总测量点数多,能给出全场面型分布结果,适合于微电子生产线上产品质量的快速检验和微电子生产工艺研究。
电子薄膜应力分布测试仪基于干涉计量的全场测试原理,可实时观测面型的分布,迅速了解被测样品的形貌及应力集中位置,及时淘汰早期失效产品。
电子薄膜应力分布测试仪特点
计算机自动条纹处理
测试过程全自动
曲面补偿测试原理
技术指标
样品尺寸:≤100mm (4英寸)
曲率范围:|R|≥5米
测试精度:5%
单片测量时间:3分钟/片
结果类型:面形、曲率半径、应力分布、公式表示、数据表格
图形显示功能:三维立体显示、二维伪彩色显示、单截面曲线显示
电    源:AC 220V±10%, 50Hz±5%
最大功耗:100W
外型尺寸:(L×W×H) 285mm×680mm×450mm
重    量:36kg
 

产品相关关键字: 电子薄膜 应力分布测试仪
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