两探针电阻率测试仪是按照SEMI MF397-1106（用两探针测量电阻率的测量方法）“两探针法"的要求。适用于测量横截面尺寸是可测量的，棒的长度与横截面MAX尺寸之比不小于3：1。横断面为圆形、正方形、长方形或梯形的单晶或多晶锭。由于两探针法的测量电流是从长棒两端进出，远离电压测量探针，因此电流流过金属与半导体接触处产生的许多副效应（如珀尔帖效应、塞贝克效应、少子注入效应等）。 仪器是由电气测量、测试台及两探针头组成。仪器具有精度为0.05%的恒流源以及双数字表，在测量电阻率的同时，另一块数字表监测电流变化，仪器还配有恒流开关，仪器测量软件配合探头在硅棒上移动测量，自动计算多点的电阻率、正反向电阻率平均值、电阻率的MAX值、电阻率MIN值，MAX百分变化，测量数据存储在数据库中，可查询测量数据或按条件查询；提供打印及导出格式供选择。 规格参数： 测量范围 硅晶体电阻率：0.005-10000Ω·cm 硅棒尺寸：长300mm、直径20mm（可按要求更改） 恒流源 输出电流：DC0.001-100mA，五档可调 量程范围：0.001-0.01mA（1-10μA）、0.01-0.1mA（10-100μA）、0.1-1.0mA、1.0-10mA、10-100mA 恒流精度：±0.05% 直流数字电压表 测量范围：0-199.99mV 灵敏度：10μV ：±（0.004%读数±0.01%） 输入阻抗：≥1000MΩ ：≤0.3% 两探针头 探针间距：1.59±0.01mm 探针直径：Φ0.8mm 游移率：＜0.2% 探针材料：硬质合金 探针压力：3±1N/单针 供电电源：AC 220V±10%，50/60Hz 功率范围：12W 环境温度：23±2℃ 相对温度：≤65% 两探针电阻率测定仪（测硅芯）
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