微波光电导载流子复合寿命测试仪采用微波反射接触光电导衰退测量方法,适用于厚度为1mm以下的硅片、电池片少数载流子寿命的测量,提供接触、数字显示的快速测量。寿命测量可灵敏地反映半导体重金属污染及缺陷存在的情况,是半导体的重要检测项目。 微波光电导载流子复合寿命测试产品简介: 微波光电导载流子复合寿命测试仪是参照半导体设备和材料组织SEMI标准MF1535-0707及标准GB/T 26068-2010设计制造。 微波光电导载流子复合寿命测试仪采用微波反射接触光电导衰退测量方法,适用于硅块少数载流子寿命的测量,提供接触、数字显示的快速测量。寿命测量可灵敏地反映半导体重金属污染及缺陷存在的情况,是半导体的重要检测项目。 微波光电导载流子复合寿命测试参数: 读数方式:数字直读 寿命测量范围:0.25μs-10ms 样品电阻率下限>0.5Ω·cm 高频光电导少数载流子寿命测试仪备注:WJ-100B型微波光电导载流子复合寿命测试仪用于测量棒状样品,测量片状样品选用WJ-100A型微波光电导载流子复合寿命测试仪! |