采用了四探针双电测组合(亦称双位组合)测量新,将范德堡测量方法推广应用到直线四探针上,利用电流探针、电压探针的变换，在计算机控制下进行两次电测量，能自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响。因而每次测量不知道探针间距、样品尺寸及探针在样品表面上的位置。由于每次测量都是对几何因素的影响进行动态的自动修正，因此显著降低了几何因素影响，从而提高了测量结果的准确度。这些，用目前大量使用的常规四探针测量方法所生产的仪器是法实现的。 采用了四探针双位组合测量新，将范德堡测量方法推广应用到直线四探针上，利用电流探针电压探针的变换，在计算机控制下进行两次电测量，把采集到的数据在计算机中加以分析，自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和 机械游移等因素对测量结果的影响，然后以表格图形方式统计分析显示测试结果； 参数： 适用晶片尺寸：2"～12"(配套探针台)； 测量范围 - 电阻率：10-5～105 Ω·cm(可扩展) 方块电阻：10-4～106Ω/□(可扩展) 电导率：10-5～105s/cm； 电阻：10-5～105Ω； 可测晶片厚度：≤3.00mm 恒流源：电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档，档电流连续可调； |
