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少子寿命测定仪采用微波反射接触光电导衰退测量方法
点击次数:767 更新时间:2019-05-13

少子寿命测定仪|微波光电导载流子复合寿命测试仪 

 货号:ZH11749

产品介绍:

本仪器配置数字存储示波器,软件依照寿命测量基本原理编写,采用了标准(MF28 及MF1535)中推荐的几种读数方法。

数字示波器具有存储功能,应用平均采样方式,平均次数可选4、16、32、64、128、256 次,随平均次数的增加随机噪声被减小,波形稳定、清晰。

微波光电导载流子复合寿命测试仪是参照半导体设备和材料组织SEMI 标准MF1535-0707 及标准GB/T 26068-2010设计制造。本设备采用微波反射接触光电导衰退测量方法,适用于厚度为1mm 以下的硅片、电池片少数载流子寿命的测量,提供接触、损伤、数字显示的快速测量。寿命测量可灵敏地反映半导体重金属污染及缺陷存在的情况,是半导体的重要检测项目。

指标:

寿命测量范围:0.25μs~10ms;

电阻率下限:≥0.5Ω·cm,尚未发现电阻率测量上限。

型号:N 型或P 型单晶或铸造多晶。

红外光源波长:0.904~0.905μm;

外形尺寸:365×415×160mm

产品重量:13Kg

工作电源:~220V 50Hz

功耗范围:≤40W

基本配置:

100B寿命仪主机1台

数字示波器1台

信号线1条

校核片1片

156*156开方硅锭测试台1套

 
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